微分干涉显微镜DIC又称Nomarski相差显微镜（Nomarski contrast microscope），其优点是能显示结构的三维立体投影影像。与相差显微镜相比，其标本可略厚一点，折射率差别更大，故影像的立体感更强。微分干涉显微镜是以平面偏振光为光源。光线经棱镜折射后分成两束，在不同时间经过样品的相邻部位,然后再经过另一棱镜将这两束光汇合,从而使样品中厚度上的微小区别转化成明暗区别。

一、光路简述

非偏振光，经过45度偏振片，再经过棱镜，被分成两束互相垂直的偏振光，再经过聚光透镜，光线到样品&载物台，经过样品作用，光发生了相移，又经过物镜聚光透镜的会聚，再次到棱镜上，棱镜将两束互相垂直的偏振光重新组合成同一偏振方向（相位差异被转换到幅度上），即135度偏振方向，这引起光的干涉，造成图像的增强或变暗，视光程差而定，再经过135度偏振片，去掉直接传送的光。

二、特点：

1、对金相样品的制备要求降低，对于某些样品，甚至只需抛光而不必腐蚀处理即可进行观察.优点是可以观察到样品表面的真实状态，如将试样抛光后在真空下发生马氏体相变，不用腐蚀就可以观察到马氏体的相变浮凸.

2、所观察到的表面具有明显的凹凸感，呈浮雕状，样品各组成相间的相对层次关系都能显示出来，对颗粒、裂纹、孔洞以及凸起等都能作出正确的判断，提高了金相检验准确性，同时也增加了各相间的反差.

3、用微分干涉相衬法观察样品，会看到明场下所看不到的许多细节，明场下难于判别的一些结构细节或缺陷，可通过微分干涉进行反差增强而容易判断.

4、微分干涉相衬法基于传统的正交偏光法，又巧妙地利用了在渥拉斯顿棱镜基础上改良的DIC棱镜和补色器(^-片)等，使所观察的样品以光学干涉的方法染上丰富的微摄影.由于微分干涉相衬得效果与样品细节的浮雕像以及色彩都是可以调节的，因而比正交偏光更为优越.

三、选型参考

产品介绍：

星辰新推出的微分干涉相衬(DIC)作为一种极具特殊的分析检验方法，所观察到的样品的相对层次关系突出，呈明显的浮雕状、对颗粒、裂纹、孔洞以及凸起等能做出正确的判断，能够判断许多明场下所看不到的或难于判别的--些结构细节或缺陷，是LCD液晶屏行业导电粒子压痕、粒子爆破检查、晶圆研磨表面，磁头研磨表面及硬盘表面检测等行业的理想工具。

产品特点：

1、XC-4R/XC-6R可以实现X、Y向105 mXC-105 Mn/158 mXC-158 mm的移动范围。

2、全新设计的长工作距专业金相物镜，成像效果更卓越.

3、各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像.

4、附件齐全，配置完善，可灵活进行系统组合与功能拓展.

5、人机工程学设计、坚实可靠的系统结构.

产品观察方式：

DIC微分干涉观察：

在正交偏光的基础上，插入棱镜，即可进行DIC微分干涉观察.使用DIC技术，可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度.可匹配带DIC功能的物镜，使整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好.

导电粒子20X DIC

LED外延检测20X DIC

晶圆50X DIC

明场观察(反射)：

远心柯拉反射照明系统，配以全新设计的无限远长工作距平场消色差金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像.

集成电路5X明场     

暗场观察：

将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷.内置衰减片，减少明暗场切换时光线剧烈变换对眼睛的刺激.暗场功能只限于XC-6R/XC-6RT机型.

FPC 10X暗场

简易偏光观察：

将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置，即可进行简易偏光观察.检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。

Pcb横截面20X简易偏光

微分干涉显微镜不仅能观察无色透明的物体，而且图象呈现出浮雕状的立体感，并具有相衬镜检术所不能达到的某些优点，观察效果更为逼真。

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